FUJIKIN将面向半导体增强设备——扩建新设无尘室

    【东大阪】FUJIKIN(大阪市北区、野岛新也社长)将在筑波尖端事业所(茨城县筑波市)加强半导体设备的生产。现有的精密阀门制造在7月底完成后,将花费7亿日元大幅增加清洁度最高水准的“CLASS 1”无尘室。此外,为了开展微电机系统(MEMS)传感器的新事业,2年内将投资7亿多日元到设备和开发领域。

 

    FUJIKIN在日本国内的生产重组中,分别向大阪工厂柏原(大阪府柏原市)汇集一般产业用阀门类产品,向筑波汇集半导体制造精密用阀门。筑波在2015年7月扩张的设施内将新建比现有设施中CLASS1占地面积更大的650平方米CLASS1。含CLASS100在内的无尘室合计将新建900平方米。

 

    压力差控制式阀门系统的生产将比以往增加3倍,并根据半导体行业的需求确保生产余力。

 

    在MEMS传感器的开发方面,将向半导体创投企业的Connectec Japan(新潟县妙高市)出资一亿日元进行合作。近期将从Connectec总部工厂移设部分设备至筑波扩展设施内设置试制线,阶段性地完善生产体制。7亿多日元的一半投资将用作开发费。


引用: http://www.nikkan.co.jp/articles/view/00378327
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