NTN开发出液滴的细微涂敷及三坐标测量形状的一体化功能装置

    NTN开发出液滴的细微涂敷及三坐标测量形状的一体化功能装置。可减少装置之间的移送和条件设定等工作量,提高芯片零部件贴装、微机电系统(MEMS)传感器的量产、全数检查线生产效率。计划在3月中旬开展营业活动。各个规格的价格有所差别,预计1200万日元起,计划2020年销售额达到10亿日元。

 

    装置内一体化配置了高速涂敷组件和形状测量组件,共用搭载涂敷、测量对象物的XY平台,设置面积相比以往单独功能的装置合计减少约一半,为边长约300mm的四方形。

 

    涂敷之后可测量、计算液滴的涂敷面积和体积,加强品质管理,还可对不同涂敷处理进行倾向管理及涂敷量的调整。在开发现场便于用作经时变化监控和干燥性的特性评价。


引用: http://www.nikkan.co.jp/articles/view/00376372
0