东北大学以生物技术制作出3D结构的量子原子团LED——密度为10倍,均一排列

    东北大学原子分子材料科学高等研究机构寒川二教授、肥后昭男助教的研究小组,首次制造出使用了生物科技的三维量子原子团结构,并用其制作了LED。相比以往可按10倍以上的高密度均一排列量子原子团,可制作在各个波长频段发光的量子原子团LED以及量子原子团激光。

    寒川教授等人融合了生物模板的倒置加工技术和中性粒子光束的倒顶加工技术制作量子原子团LED。内含金属微粒的蛋白质可自发性地有序排列,利用这一结构性质,在半导体化合物基板上对每cm220纳米的等间距配置1×1011个铁粒子。之后去掉蛋白质,将铁粒子用作护膜,通过自主开发的中性粒子光束在不造成损伤的前提下进行蚀刻,从而制作出化合物半导体的高密度量子原子团。

    进一步使用MOCVD装置植入量子原子团结构后,实现了每20纳米间隔高密度排列直径10纳米程度×高100纳米的砷化镓、砷化镓6积层柱状三维量子原子团结构。


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