东京工业大学面向无尘室开发出超声波悬浮板

    东京工业大学精密工学研究所的中村健太郎教授开发出超声波式悬浮移动板。地面若完全平整,则可以完全悬浮,从而无阻力地运输积载物。相比车轮或轧辊取消了摺动部分,搬送中基本不会产生灰尘。有望作为半导体工厂无尘室的输送方法实用化。

     移动板通过超声波的力量悬浮。为搭载任何物体时成功悬浮到0.26mm位置。在安装4个超声波组件后,悬浮板基本无阻力地搬运了10kg重的积载物。实际的地面因存在轻微起伏,悬浮板的一部分与其接触产生了阻力。

    超声波悬浮方式相比车轮不容易产生尘埃,也不需要像气垫船那样的空气悬浮式空压装置,能够节省空间。


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