Sakura craypas开发出耐热性达到200℃的等离子处理评价标准模型

  Sakura craypas(大阪市中央区、西村彦四郎社长)完成了面向半导体制造工序的耐热性可达200摄氏度的等离子处理强度评价工具“等离子体耐热性标准模型=照片”。用具有柔软性的标准模型粘贴至基板表面或容器里侧后,可方便地将等离子处理状态可视化,有利于工序改善,提高品质管理。10张价格为9500日元(不含消费税)。

 

  使用无机色材和聚酰亚胺基材可提高耐热性,抑制了等离子自身放出的气体。可适用于清洁性要求高的前工序高温制程。氩气等离子也首次实现了可视化。

 

  以往半导体制造工序的等离子评价使用了分光器和探针等特殊装置。等离子体会根据等离子的强度产生阶段性变色,通过色调的变化可瞬间判定处理结果,并数值化显示。多个判定后即可掌握其分布情况。新能源・产业技术综合开发机构(NEDO)委托该公司进行商品开发。

 


引用: http://www.nikkan.co.jp/news/nkx0820150602cbal.html
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