东京工业大学开发出刷型静电卡盘——8根导电毛的吸附力为19毫克

     东京工业大学研究生院理工学研究科机械宇宙系统专业的齐藤滋规准教授等采用静电方式在吸附晶片的零部件“静电卡盘”领域开发出刷型产品,可对应表面有凹凸的箔形材料。在导电毛的前端集中静电,提升零部件,试制机8根导电毛的提升力约为19毫克重。使用导电毛500根的试制机成功提升了箔形材料,今后将推动大面积化,争取3年后实用化。

 

    静电卡盘会因为对象物表面的凹凸产生空洞后导致静电力衰减,箔形材料难以一次性的张贴和剥离,因此开发了刷型静电卡盘。导电毛直径为0.25mm,长度14mm。


   剥离时导电毛斜向加力,可一根根地从对象物脱离,力度较弱。500根导电毛的试制机可成功对面积3mm×20mm的铝箔进行支撑与脱离。


    该机械适合导电膜和金属箔等柔软的零部件支撑,将向柔性电子设备的制造流程进行提案。目前试制机还处于支撑与脱离的原理验证阶段,今后将增加导电刷毛的数量和面积,以便于工业使用。


引用: http://www.nikkan.co.jp/news/nkx0720150326eaad.html
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