东大开发出高性能粘度計等4中传感器设备——在MEMS国际学会上发表

   东京大学IRT研究机构(IRT)的下山勋教授等开发出可测量微量液滴粘度的粘度计、高精度的气压传感器、可预防流感的口内湿度传感器、表面波弹性测量装置等4个高水准的传感器设备,并在本月举行的“MEMS(微电机系统)国际学会2015”上发表。

   开发的粘度计直径为1.8mm,可正确测量容量3微升的微量液滴粘度。测量用的悬臂式装置使用了压敏电阻材料,可随着液滴的振动、应力、弯曲变化而改变电阻值。适合难以准备大量样本材料的血液检查。

   气压传感器可对1cm的高精度进行测量,气压差精度为0.1帕斯卡。适合于GPS难以测量的场所。

   口内湿度传感器紧贴在口罩的表面,用来测量口腔的湿度。其材料柔软,使用涂满离子液体的布制成,便于安装至口罩上。

   上述压敏电阻材料的悬臂式测量装置还成功测量出表面弹性波。相比以往使用压电元件的测量装置,以MEMS技术制作的300纳米厚悬臂装置不需要复杂的测量回路,可在多带宽的频率中灵敏地检测出微小的弹性波。

引用:http://www.nikkan.co.jp/news/nkx0720150130eaai.html


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