Kobelco科研计划量产TFT用氧化物半导体材料—可适用于大型面板

  Kobelco科研(神户市中央区、川田丰社长、078-272-5915)考虑在2015年夏季开始对薄膜晶体管(TFT)用氧化物半导体材料(照片)进行量产出货。面板企业已决定首次采用。该公司的材料相比其他公司量产中的材料实现了更高的生产性。适用于全新大型显示屏的技术也已完成。

  氧化物半导体在高精细化、低消耗电力等方面作为新一代的显示屏TFT材料而受到关注。现在量产的产品在使用铟镓锌氧化物(IGZO)的夏普和韩国LG可见到,材料和制程技术均存在壁垒。

  Kobelco科研的氧化物半导体对电极形成时使用的蚀刻液具有耐受性,因此其特点为,在以往的非晶硅制TFT上可采用主流的简单回路结构,有利于削减量产工序,抑制成本。最近对主要用于大型电视的铜配线适用该材料的技术已经完成。由此建立起对中小型至大型产品广泛提供量产性优秀的氧化物半导体材料方案的体制。

引用:http://www.nikkan.co.jp/news/nkx0820141209aaar.html


引用:
0