东工大等机构开发出检测范围广的加速度传感器—将0.1毫G-20G汇集至1个芯片上

  东京工业大学异种功能集成研究中心的益一哉中心负责人兼教授与山根大辅助教、町田克之合作教授、东京大学的年吉洋教授、NTT Advanced Technology(川崎市幸区)共同开发出可在0.1G(重力加速度)20G的宽范围内以分辨能力进行测量的加速度传感器5个加速度传感器汇集至1张基板,分别实现了1/1000的分辨能力。

  受力后电极间的距离会改变,测量其静电容量的变化,并以MEMS加工技术制作出让单个电极以弹簧浮空的结构。改变电极重量和弹簧强度则可调整能检测的加速度。

  现在制作了0.1G1G3G10G20G的加速度传感器,汇集至边长4mm的基板上。电极以比重较大的金属制作,体积较小时也容易应答。相比硅制电极大小可减少至1/10。各传感器拥有1/1000的分辨能力。

  0.1G和可测量微小变化的传感器能够捕捉如呼吸的细微动作。另一方面,汽车安全气囊工作的重力加速度约25G,因此日常生活中各类型的加速度均可检测出。

引用:http://www.nikkan.co.jp/news/nkx0720141205eaaj.html


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