日本工业用气企业大阳日酸在华建厂生产乙硼烷

    日本国内最大工业气体厂商大阳日酸将在中国新建特殊气体工厂,生产用于半导体制造工序的气体“乙硼烷”。新工厂预定2019年投入运行,投资额预计为30~40亿日元。中国今后有望相继新建半导体工厂,用气需求将出现增长。

 

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引用: http://cn.nikkei.com/industry/manufacturing/25815-2017-06-29-15-54-46.html
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